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OP-PAI系列真蜂窩氣浮隔振光學(xué)平臺(tái) ? 水平方式:自動(dòng)充氣,自動(dòng)平衡 ? 固有頻率:1~1.5Hz ? 重復(fù)定位精度:±0.10mm ? 臺(tái)面材料:SUS430高導(dǎo)磁不銹鋼 ? 臺(tái)面內(nèi)部結(jié)構(gòu):隔離杯真蜂窩內(nèi)芯 ? 臺(tái)面厚度:100/200/250mm ? 平面度:0.1mm/600mm×600mm ? 臺(tái)面粗糙度:≤0.8μm
OP-AI系列氣浮隔振光學(xué)平臺(tái) ? 固有頻率:<1.2~2Hz ? 重復(fù)定位精度:±0.10mm ? 臺(tái)面材料:SUS430高導(dǎo)磁不銹鋼 ? 臺(tái)面厚度:100/200/250mm ? 平面度:≤0.05mm/m2 ? 臺(tái)面粗糙度:≤0.8μm,局部可達(dá)0.4μm ? 氣浮支架:雙層氣室,3個(gè)真空管水平調(diào)節(jié)閥,四或六支撐腿 ? 臺(tái)面加支架總高度800mm,總高度可調(diào)范圍:-20~+20
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