產(chǎn)品中心
當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導體材料測試 > 橢偏拉曼AFM
半導體材料測試
相關文章
對小體積樣品材料力學性質(zhì)進行定量化測試的關鍵技術。
拉曼光譜用來測試材料應力,摻雜濃度和sheet& pattem等。從散射光的能量轉移,強度和偏振等方面可以獲取樣品豐富信息,如:結晶取向,組分,機械應力,摻雜和溫度變化等。
原子力顯微鏡使用非常小的探針,掃描樣品表面,在原子尺度探測樣品形貌。Semilab的AFM設備,可靈活配置和測試,具備優(yōu)異測試穩(wěn)定性和可靠性。
iSR是一種微光斑測試技術,用于實時刻蝕和Halftone工藝中的厚度測試
光譜型橢偏儀是多功能薄模測試系統(tǒng),適合各種薄材料的研究。
公司地址:上海市浦東新區(qū)疊橋路456弄創(chuàng)研智造J6區(qū)202室公司郵箱:qgao@buybm.com
TEL:021-61052039